如何判斷掃描電鏡成像是否正常？
日期：2025-06-11
判斷掃描電子顯微鏡（SEM）成像是否正常，需要從圖像質量、設備狀態、樣品制備等多個維度進行綜合判斷。以下是詳細的檢查要點與標準：
一、圖像質量判斷標準
1. 圖像是否清晰
清晰圖像應具備良好的邊緣對比度，結構細節可辨；
模糊可能由聚焦不準、樣品漂移、鏡筒污染引起。
2. 對比度是否適中
圖像中應能清楚分辨出高、低原子序的材料區域；
若對比度過低，可能是探測器設置或加速電壓不當。
3. 是否存在明顯噪聲或干擾
正常圖像應平滑，無明顯雜散斑點、橫條紋、雪花點；
噪聲過多常由：
探測器故障；
接地不良；
電磁干擾；
真空不好造成電子束不穩定。
4. 圖像是否穩定（無拖影或漂移）
拖影通常表明樣品帶電、樣品未固定牢靠或掃描速度過快；
檢查樣品接地、掃描參數和樣品夾持狀態。
5. 放大倍數與分辨率是否匹配
高倍圖像應展示細節清晰、邊界銳利；
如果高倍圖像仍模糊不清，需檢查對焦、物鏡孔徑或樣品表面狀態。
二、儀器運行狀態檢查
1. 真空狀態
真空不好可能導致電子束散射，圖像發虛、噪聲多；
檢查系統是否報真空報警，觀察真空計讀數。
2. 電子槍狀態
發射電流是否穩定；
是否有提示燈絲老化或電壓不穩定。
3. 掃描參數設置是否合理
加速電壓（一般 1–30 kV）；
工作距離（通常 5–15 mm）；
探測器選擇（SE, BSE, EDS 等）是否合適；
是否正確選用慢速掃描模式進行高質量成像。
三、樣品狀態檢查
1. 樣品導電性
非導電樣品若未鍍金/碳，可能導致充電效應 → 圖像漂移或亮斑；
使用非導電樣品前應進行金屬鍍膜處理。
2. 樣品是否清潔、固定牢靠
粉末樣品應噴膠固定；
若樣品在真空中移動，圖像會跳動或模糊。
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作者：澤攸科技