中文
English

在掃描電鏡里，樣品表面出現 充電現象主要是因為樣品 導電性不足，電子束打到樣品表面后，電荷不能及時導走，在局部累積造成的。具體原因可以分幾類：

樣品本身是絕緣體或低導電材料

比如高分子、有機物、陶瓷、玻璃等，這些材料幾乎不能傳導電子，電子束轟擊后容易在表面積聚。

表面電子逸出與注入不平衡

掃描電鏡成像依賴二次電子、背散射電子信號。如果樣品接受的電子束電流大于逸出的電子電流，電荷就會堆積。

樣品接地不良

即便是金屬，如果與樣品臺接觸不緊密，也會導致電荷無法流走，從而局部帶電。

高束流、高加速電壓條件

束流強、加速電壓高時，入射電子數大大增加，更容易形成電荷堆積。

充電的后果

圖像出現局部過亮或過暗，甚至漂移、閃爍。

圖像細節丟失，分辨率下降。

在嚴重情況下，會導致束斑不穩定，無法成像。

常見的解決方法

給非導電樣品 噴鍍金、碳，提高導電性。

使用 低加速電壓、減小束流，降低電荷積累。

保證樣品與樣品臺 良好導電接觸。

采用低真空 SEM 模式，利用氣體分子電離中和電荷。