影響臺式掃描電鏡探針電流的大小的因素
日期：2023-06-14
在臺式掃描電鏡（SEM）中，探針電流是指掃描電鏡電子束與樣品表面相互作用產生的電流量。探針電流是SEM中一項重要的參數，可以提供關于樣品性質和電子束與樣品交互作用的信息。
探針電流的大小可以受到以下因素的影響：
電子束電流：電子束電流是SEM中調節的一個重要參數。增加電子束電流會導致探針電流變大。
加速電壓：加速電壓是指電子束在SEM中的能量。較高的加速電壓通常會導致更大的探針電流。
樣品性質：樣品的導電性和形貌會影響探針電流。導電性較高的樣品會產生較大的探針電流，而非導電性樣品的探針電流較小。樣品表面的形貌和紋理也會對探針電流產生影響。
探針與樣品之間的距離：探針電流還與電子束與樣品之間的距離有關。在SEM中，通過調整工作距離（Working Distance）來控制探針與樣品的距離。
通常情況下，較高的探針電流可以提供更高的信號強度和更好的圖像質量，但同時也可能導致樣品的熱損傷或退火效應。因此，在選擇探針電流時需要平衡信號質量和樣品的熱影響。
具體的探針電流設置應根據樣品的性質、SEM儀器的要求和實際需求進行優化。一般來說，您可以根據樣品的導電性和SEM儀器的建議范圍，逐漸增加探針電流，觀察圖像質量和樣品狀況，并找到適合您實驗需求的探針電流值。
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作者：澤攸科技
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