臺式掃描電鏡電子束校準步驟
日期：2023-06-14
在使用臺式掃描電鏡（SEM）時，進行電子束校準是確保獲得準確和可靠結果的重要步驟之一。以下是一般情況下的電子束校準步驟：
加載樣品：將您要觀察的樣品放置在SEM樣品臺上，并確保樣品固定穩定。
調整放大倍數：選擇適當的放大倍數以獲得所需的觀察尺度。調整SEM儀器的放大倍數控制，使樣品在屏幕上適當大小顯示。
調整工作距離（Working Distance）：工作距離是指電子槍和樣品之間的距離。通過調整SEM儀器的工作距離控制，使電子束與樣品的焦點位置達到適合狀態。通常，工作距離的調整是通過觀察樣品圖像的清晰度來完成的。根據您的SEM儀器型號，可能需要使用自動或手動控制來調整工作距離。
調整對比度和亮度：根據需要，調整SEM儀器的對比度和亮度設置，以獲得清晰的圖像。這可以通過控制圖像增益、曝光時間或者亮度/對比度調節器來完成。
校準掃描電鏡參數：根據SEM儀器的要求和操作手冊，對一些重要參數進行校準。這些參數可能包括電子束電壓、電子束對準、掃描速度和掃描模式等。根據SEM儀器的型號和軟件界面，校準這些參數可能需要在設備控制面板或者計算機軟件中進行。
確認校準：進行校準后，通過觀察標準樣品（如標準刻度尺或標準顆粒）來確認電子束的校準準確性。檢查圖像的尺寸、形狀和細節，確保它們與已知的標準相匹配。
請注意，具體的電子束校準步驟可能因不同的SEM儀器型號和軟件而有所不同。因此，在進行電子束校準之前，建議仔細閱讀SEM儀器的操作手冊，并按照手冊中的指導進行操作。
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作者：澤攸科技
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