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SEM掃描電鏡通過電子束掃描樣品表面獲取樣品信息。其原理為電子槍在鏡筒頂部生成電子，當電子的熱能超過了源材料的功函數時，就會被釋放出來，然后它們加速向帶有正電荷的陽高速移動。雖然掃描電鏡具有很好的分辨率，但在使用中也有一些因素會對其造成影響。

電子槍

電子槍需要密封在特殊的真空室中，確保其不受污染、振動和噪音的影響。

鏡筒

非真空環境下，鏡筒中可能存在其他原子和分子，與電子相互作用，使電子束發生偏轉，從而降低圖像質量。所以高真空環境可提高鏡筒內檢測器對電子的收集效率。

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