掃描電鏡的操作和樣品加載步驟
日期：2023-10-20
掃描電鏡（SEM）用于觀察樣品的微觀結構和表面形貌。以下是掃描電鏡的一般操作步驟和樣品加載過程：
1. 掃描電鏡的準備：
打開電源并等待設備預熱。
啟動控制軟件，如Igor Pro或其他SEM軟件。
檢查系統狀態，確保所有零部件正常工作。
2. 樣品準備：
樣品須具備導電性或者需要被涂覆導電性薄層以避免電荷積累。
樣品需要固定在SEM樣品架上。樣品架通常有夾持夾或樣品支架。
3. 樣品加載：
打開樣品室，這是一個可以容納樣品的區域。
將樣品小心地安置在樣品架上。
封閉樣品室并確保安全鎖定，以防止樣品在成像期間受到震動或移動。
4. 設置成像參數：
使用控制軟件，設置所需的成像參數，包括放大倍數、電子束電壓、檢測器類型、掃描速度等。
調整焦距和工作距離，以獲得清晰的圖像。
設置掃描模式，如點掃描或行掃描。
5. 對樣品進行初步定位：
使用光學顯微鏡或低倍數SEM成像來對樣品進行初步定位，以便選擇感興趣的區域。
6. 開始成像：
啟動電子束并開始成像。
實時觀察屏幕上的圖像，確保獲得所需的圖像質量。
在必要時根據觀察結果進行參數調整。
7. 數據記錄和保存：
SEM軟件通常允許您捕獲圖像和數據，將其保存在計算機中，或者導出到其他文件格式中以供進一步分析。
8. 結束操作：
成像完成后，關閉電子束并保存所有設置。
移除樣品并將其妥善存儲。
關閉掃描電鏡并斷電。
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作者：澤攸科技
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