掃描電鏡中的電子束如何對樣品產生影響
日期：2023-08-01
在掃描電鏡（SEM）中，電子束對樣品產生多方面的影響。當電子束與樣品相互作用時，產生的相應效應和信號被用于生成顯微圖像和分析樣品的性質。以下是電子束對樣品產生影響的幾個主要方面：
電子-樣品相互作用：電子束在與樣品表面或內部相互作用時，會導致電子與樣品原子或分子發生碰撞。這些相互作用可能包括散射、透射、吸收和激發等。
電子的散射：電子束中的電子可能會散射回到探測器，從而形成所謂的二次電子圖像，用于顯示樣品表面的形貌和紋理。
透射電子：有些電子可能穿透樣品并離開另一側，從而形成透射電子圖像。透射電子圖像可用于研究樣品內部的微觀結構。
吸收和激發：當電子束進入樣品時，它可能會被樣品的原子和分子吸收，并導致樣品中的原子或分子發生激發。激發的電子或光子可以用于分析樣品的元素組成和化學性質。
電荷積累：電子束照射樣品時，可能會在樣品表面積累電荷，導致樣品表面產生靜電效應。為了避免這種現象，通常需要對非導電樣品進行金屬涂層處理，以提高其導電性。
以上影響是SEM技術的基礎，通過測量和分析電子與樣品的相互作用，可以獲得樣品表面形貌、元素分布、晶體結構等信息。這些信息對于材料科學、納米科技、生物學等領域的研究具有重要意義。
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作者：澤攸科技
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