如何解決掃描電鏡高倍率下的電荷積累效應？
日期：2023-05-12
掃描電鏡高倍率下的電荷積累效應可以通過以下方式進行解決：
減少電子束束流密度：可以通過減少電子束的束流密度來降低電荷積累效應的影響。具體操作包括降低電子束的電流、縮小電子束的直徑等。
降低掃描電子束的能量：較低的電子束能量將減少電子束在樣品表面積累的時間，從而降低電荷積累效應的影響。
采用退火法：將樣品在高倍率下暴露一段時間后，可以采用退火法去除表面電荷。這種方法需要對樣品進行特殊處理，因此在使用之前需要充分了解樣品的物理和化學特性，以確定適當的退火條件。
采用低溫掃描電鏡：低溫掃描電鏡可以在較低的溫度下進行掃描電子顯微鏡觀察，從而減少電子束與樣品的相互作用，降低電荷積累效應的影響。但這種方法需要采用特殊的低溫樣品臺和制冷設備，增加了成本和操作難度。
需要注意的是，不同的解決方案可能適用于不同的樣品和應用場景，因此需要在實際操作中根據具體情況選擇合適的方法。
以上就是澤攸科技小編分享的掃描電鏡高倍率下的電荷積累效應解決方法。更多掃描電鏡信息及價格請咨詢
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作者：澤攸科技
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